隨著信息化時(shí)代的到來(lái)，在信息知識(shí)爆炸的年代，微電子技術(shù)下的產(chǎn)品影響著我們生活的方方面面，如今最為常用的通信工具—手機(jī)，上下班坐公交車(chē)使用的IC卡，洗衣服用的全自動(dòng)洗衣機(jī)，做飯用的電飯煲，燒水用的電水壺，茶余飯后的欣賞電視節(jié)目。這些和我們生活息息相關(guān)的電子產(chǎn)品都采用了微電子技術(shù)處理而完成其功能性的發(fā)揮，給我們的生活帶來(lái)了便捷，帶來(lái)了高品質(zhì)的享受。對(duì)提高我們的生活質(zhì)量有著積極的影響。

在工業(yè)制造應(yīng)用和軍工產(chǎn)業(yè)中也扮演著非常重要的角色，國(guó)家也在大力支持國(guó)內(nèi)的微電子和芯片行業(yè)的發(fā)展。 晶圓是半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底(也叫基片)，以硅材質(zhì)最為常用，今天我們就來(lái)分析一下晶圓研磨的工藝流程。

晶圓研磨工藝一般包括以下四個(gè)過(guò)程：

1. 上料。
2. 研磨。
3. 下料。
4. 檢驗(yàn)。

接下來(lái)，我們使用新版AIAG&VDA“七步法”的分析方法，并借助上海益吉科技的E-FMEA軟件來(lái)對(duì)沖壓件的制造過(guò)程進(jìn)行PFMEA分析：

第一步：策劃和準(zhǔn)備

創(chuàng)建PFMEA項(xiàng)目，定義產(chǎn)品、跨功能團(tuán)隊(duì)等信息，如下圖所示：

第二步：結(jié)構(gòu)分析

根據(jù)晶圓研磨的工藝流程，定義結(jié)構(gòu)，并分析過(guò)程工作要素（5M1E），如下圖所示：

系統(tǒng)自動(dòng)生成的工藝流程圖，如下：

第三步：功能分析

根據(jù)晶圓研磨的制造工藝，定義各過(guò)程項(xiàng)、過(guò)程步驟、工作要素的功能和要求，如下圖：

通過(guò)功能矩陣，維護(hù)過(guò)程項(xiàng)、過(guò)程步驟、工作要素的功能和要求的關(guān)聯(lián)關(guān)系：

系統(tǒng)自動(dòng)生成功能網(wǎng)：

對(duì)于聚焦元素的每一個(gè)功能（或要求）都要分析到，不要遺漏。

第四步：失效分析

維護(hù)過(guò)程項(xiàng)、過(guò)程步驟、工作要素的功能和要求的失效，如下圖：

維護(hù)過(guò)程項(xiàng)、過(guò)程步驟、工作要素三級(jí)失效的關(guān)聯(lián)關(guān)系：

查看失效網(wǎng)：

第五步：風(fēng)險(xiǎn)分析 對(duì)FMEA進(jìn)行S/O/D的評(píng)分并制定預(yù)防措施(PC)和探測(cè)措施(DC)。

第六步：優(yōu)化

對(duì)AP(行動(dòng)優(yōu)先級(jí))為H的必須進(jìn)行改進(jìn)，對(duì)AP(行動(dòng)優(yōu)先級(jí))為M的必須進(jìn)行改進(jìn)重新制定預(yù)防措施和探測(cè)措施并進(jìn)行再改進(jìn)，然后進(jìn)行重新評(píng)估。

任務(wù)分配：

整改：

跟蹤并重新評(píng)分：

第七步：結(jié)果文件化（部分展示，僅供參考）

PFMEA分析完成后，生成新版PFMEA標(biāo)準(zhǔn)表格：

系統(tǒng)提供PDF、Excel兩種文件下載，同時(shí)支持導(dǎo)出第四版表格。

失效樹(shù)如下：

控制計(jì)劃：

在E-FMEA軟件中可保證PFMEA到控制計(jì)劃（CP）的數(shù)據(jù)一致性，即在FMEA中對(duì)產(chǎn)品特性或過(guò)程特性進(jìn)行修改后，控制計(jì)劃中會(huì)同步修改。

以上是利用新版FMEA的分析方法和E-FMEA軟件對(duì)晶圓研磨的研磨工藝進(jìn)行分析，并通過(guò)上海益吉科技的E-FMEA軟件進(jìn)行FMEA的制作和展示。

因?yàn)闀r(shí)間和篇幅的限制，E-FMEA軟件的功能和亮點(diǎn)并未全部展示，比如知識(shí)庫(kù)的調(diào)用、FMEA項(xiàng)目復(fù)制、工序的導(dǎo)入、變更履歷、風(fēng)險(xiǎn)矩陣、任務(wù)管控等特色功能。

我們準(zhǔn)備了詳細(xì)的操作視頻和操作手冊(cè)，期待您來(lái)體驗(yàn)！

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